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四力学とデザイン入門~ワークショップで学ぶ機械のデザイン~

ナノマイクロスケールで動く機械を理解する

授業の目標・概要

近年、加速度センサに代表される機械デバイス(MEMS/NEMS)が、スマートフォンやゲーム機,自動車など様々な分野で利用され、我々の生活を豊かにしている。このゼミでは、身近にあるMEMS素子や最先端のNEMS素子,それらの製造,評価技術に触れ、社会,産業を支えている技術について理解を深めることを目標とする。

講義紹介ポスター

授業風景

授業計画

<授業で扱うトピック>

1.イントロダクション
・ナノマイクロスケールで動く機械(MEMS/NEMS)の特徴 ・MEMS/NEMSの動く仕組み,どのようなところに使われているのか
 
2.MEMS/NEMSの設計解析
・MEMS/NEMSの設計解析の手順
・設計解析のツール
 
3.MEMS/NEMSの作製方法
・半導体製造プロセス技術
・MEMS/NEMS製造技術
 
4.MEMS/NEMSの計測評価方法
・顕微鏡技術(電子顕微鏡,原子間力顕微鏡)
・材料分析評価技術
 
5.MEMS/NEMSの研究開発状況

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